- литография с зазором
- proximity lithography
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Русско-английский словарь по микроэлектронике. 2013.
Иммерсионная литография — У этого термина существуют и другие значения, см. Иммерсия. В иммерсионной ли … Википедия